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图了。
火车上,唐溪也没闲着,仍旧拿着笔仔细修改着设计图。
光刻机设计图唐溪只画了前面一部分,而且需要反复修改的地方都挺多,后续设计图唐溪还没画。
光刻机的设计图比之前的机床设计图要复杂多了,而且所接触的技术也都不一样,这难度自然就增加了。
结构方面光刻机就很复杂,其中包括照明系统,镜头组,性能指标,基片尺寸范围,分辨率,对准精度,曝光方式,光源波长,光强均匀性,还有最重要的生产效率。
内部封闭框架,也分为很多,能量探测,掩模板、掩模台,物镜,曝光台,减震装置,然后是硅片,测量台,分散到测量设备。还有遮光器,光束形状设置,能量的控制,光束的矫正,以及激光器。
这里边这么多东西,无论哪一步都是需要慢慢来摸索的,设计图也不是画出来就一定能顺利研发,后期研发当中遇到问题需要修改,然后重新设计某一部分。
如果光刻机那么容易搞出来,那么在后世,光刻技术也就不会停止20年才进步了。
伴随着哐哐哐的火车声,唐溪这一次待在车厢都没出去,几乎在车厢里修改设计图,累了直接躺下休息,醒了继续倒腾设计图。
夜晚七点,火车抵达京市。
伴随着呜呜呜的火车鸣笛声,几分钟之后火车停了下来。
几人没什么行李,就几件衣服以及唐溪的设计图,这些东西唐溪都自己拿着下了火车。
随着人群走出车厢,唐溪抬头朝着出站口那边看过去,果不其然看到了张天华还有他身边的薛宁远教授。
不远处两人也看到了唐溪,一起朝着这边方向挥手。
看着两位老前辈这可爱挥手的动作,唐溪忍不住露出一抹笑容。
抬脚朝着他们那边走过去,到了他们跟前儿,唐溪开口打招呼:“张院,薛教授。”
“哈哈哈,唐溪,这次咱们又可以一起工作了。”薛宁远笑呵呵开口,打量唐溪一会儿,视线最终落在唐溪手上的包包上,凑近一点距离,压低嗓音开口问道:”设计图出来了没有?”
“画了一部分,还需要修改。”唐溪也小声回了一句。
瞅着一老一小说那什么接头似的说悄悄话,张天华笑了,开口:“好了好了,出去说,这儿说话不方便。”
“对对对,出去说,一会儿唐溪你回家还是回去咱们院?”薛宁远再次问道。
“先过去院里吧,时间还早。”唐溪低头瞥了一眼手表上的时间,才七点左右,先过去院里一趟,再回家不迟。
再说了,她今天回来京市也没告诉许教授他们,原本她计划是过两天才回来的。
一行人走出火车站,来到停车的地方,几人陆续上车。
后排座位上,唐溪,张天华,薛宁远三人坐在一起,另外王全自己开车跟在后面。
车子刚刚上路,薛宁远就再次迫不及待开口了。
“唐溪,快快快,设计图给我看看,我可是期待好久了,就等着你回来京市呢。”
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